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屏蔽室由屏蔽壳体、屏蔽门、通风波导窗及各类电源滤波器等组成。根据用户要求，屏蔽壳体可采用焊接式或拼装式结构均可。吸波材料由，工作频率范围在30MHz～1000MHz的单层铁氧体片，以及锥形含碳海绵吸波材料构成，锥形含碳海绵吸波材料是由聚氨脂泡沫塑料在碳胶溶液中渗透而成，具有较好的阻燃特性。
以恒3m（5m，10m）法半（全）电波暗室的结构设计包含暗室尺寸的确定、吸波材料的选择和布置、地板和电源等内容。目前电波暗室生产厂家的标准型半电波暗室，其测试空间和暗室实际尺寸分别为：用于3m法的为 9m(L)x 6.2m(W)x5.8m(H)。