工艺气体从进气口吸入，被旋转的螺杆压缩并传送到排气口。过程中所产生的压缩热使工艺气体温度上升。工艺气体上升的温度需要使用冷却净化。通常冷却净化气体为空气，除非根据系统的其它气体。同时，为了冷却净化在泵体上靠近排气端的地方设置了接口。
清洗净化是在停泵前清洁泵腔。在停泵前，关闭泵进气管路上的主阀，注入氮气，蒸汽或清洁空气20到30分钟，为了把粘性的工艺材料或工艺气体从泵的内表面上清理下来。
当抽有腐蚀性的或有毒的气体，或像树脂一样有粘性的材料时，本操作就显得尤其重要。当泵每次工艺过程结束后，关闭进气口主阀，无负载运行真空泵10-20分钟（干运行，清洗净化）。螺杆真空泵是消除或清洗在抽气过程中积聚在泵腔内的工艺气体或可凝性蒸汽。这些残留在泵腔内的工艺材料是导致泵重新起动时发生过载的罪魁祸首。
同样，当一段时间处于关闭状态的泵重新开启时，这些残留的工艺材料会导致泵卡死或过载。在这种情况下，应冲洗蒸汽注入泵腔后再起动螺杆真空泵。
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